説明
Alliance (A6) TCP 9400DFM構成
Transport Module / TCP9400DFM-P Modules for Tungsten Silicide Etch Software: A4.0-37VM PM4 - TCP9400DFM-P - Wsix Etch ESC - Anodized Aluminum Interferometer EP - PM4 Enhanced Universal Gas box - 12 Stick PM4 Gas Box: (10) - Brooks GF125 Brooks Automation Mag 7 Dry Pumps: Busch DS80 Cobra (1) Busch BA100 (2) Chillers: TCU - Edwards 40/80 Plus (1) RPM - Voltage SAG EnhancedOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
127101
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2014
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH CORPORATION
ALLIANCE 6 (A6)
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
127101
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2014
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Alliance (A6) TCP 9400DFM構成
Transport Module / TCP9400DFM-P Modules for Tungsten Silicide Etch Software: A4.0-37VM PM4 - TCP9400DFM-P - Wsix Etch ESC - Anodized Aluminum Interferometer EP - PM4 Enhanced Universal Gas box - 12 Stick PM4 Gas Box: (10) - Brooks GF125 Brooks Automation Mag 7 Dry Pumps: Busch DS80 Cobra (1) Busch BA100 (2) Chillers: TCU - Edwards 40/80 Plus (1) RPM - Voltage SAG EnhancedOEMモデルの説明
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