説明
New and unused; the process chamber is still in their original packaging.構成
Product Description for Versys Metal - 2300 Versys Metal PM, 200 mm - Chemraz Orings - ESC Hose Kit, Standard with Shaft Seal - Chemraz Seal Door on VAT Rocker - 2200 L/s BOCE - N309079-FB PM FB INSR, FOC R, 55MI - Versys Metal Quick Clean kit - Versys Metal Pend. Valve kit - 2300 Versys Metal Jetstream Gas Box - 2300 JetStream Gas Box - 6 Gas Configuration (JetStream) - JetStream Gas Line - Heated Gas Line - 2300 PeripheralsOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
New
稼働ステータス:
Deinstalled / Crated
製品ID：
145037
ウェーハサイズ：
8"/200mm
Gas Lines:
BCl3, O2, CL2, NF3, SF6, N2, CF4, Ar, He
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH CORPORATION
2300 VERSYS METAL
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
New
稼働ステータス:
Deinstalled / Crated
製品ID：
145037
ウェーハサイズ：
8"/200mm
Gas Lines:
BCl3, O2, CL2, NF3, SF6, N2, CF4, Ar, He
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
New and unused; the process chamber is still in their original packaging.構成
Product Description for Versys Metal - 2300 Versys Metal PM, 200 mm - Chemraz Orings - ESC Hose Kit, Standard with Shaft Seal - Chemraz Seal Door on VAT Rocker - 2200 L/s BOCE - N309079-FB PM FB INSR, FOC R, 55MI - Versys Metal Quick Clean kit - Versys Metal Pend. Valve kit - 2300 Versys Metal Jetstream Gas Box - 2300 JetStream Gas Box - 6 Gas Configuration (JetStream) - JetStream Gas Line - Heated Gas Line - 2300 PeripheralsOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
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