説明
Cobra 300 ICP+PECVD構成
Cl₂ (Chlorine) N₂ (Nitrogen) CHF₃ (Trifluoromethane) N₂O (Nitrous Oxide) NH₃ (Ammonia) CF₄ (Carbon Tetrafluoride) SF₆ (Sulfur Hexafluoride) BCl₃ (Boron Trichloride) SiCl₄ (Silicon Tetrachloride) SiH₄/N₂ (Silane in Nitrogen, 5% mixture) Ar (Argon) H₂ (Hydrogen)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137003
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
OXFORD
PLASMAPRO 100 COBRA
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137003
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Cobra 300 ICP+PECVD構成
Cl₂ (Chlorine) N₂ (Nitrogen) CHF₃ (Trifluoromethane) N₂O (Nitrous Oxide) NH₃ (Ammonia) CF₄ (Carbon Tetrafluoride) SF₆ (Sulfur Hexafluoride) BCl₃ (Boron Trichloride) SiCl₄ (Silicon Tetrachloride) SiH₄/N₂ (Silane in Nitrogen, 5% mixture) Ar (Argon) H₂ (Hydrogen)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし