説明
説明なし構成
The tool is missing the turbo & controller, but rebuilt spares can be included with tool Gases: CL2, BCL3, CF4, C2F6, Ar, O2 6” but possible to run 8” (no load-lock)OEMモデルの説明
Plasma etchドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
140328
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
PLASMATHERM
SLR 740
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
140328
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
The tool is missing the turbo & controller, but rebuilt spares can be included with tool Gases: CL2, BCL3, CF4, C2F6, Ar, O2 6” but possible to run 8” (no load-lock)OEMモデルの説明
Plasma etchドキュメント
ドキュメントなし