説明
説明なし構成
ICP Etcher See attached utility one-line for gases. The tool is missing the turbo & controller, but rebuilt spares can be included with the tool. Both chambers are RIE 6” only (load-lock)OEMモデルの説明
Etchers & Ashersドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
140327
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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PLASMATHERM
SLR-770 ICP
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
140327
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
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ICP Etcher See attached utility one-line for gases. The tool is missing the turbo & controller, but rebuilt spares can be included with the tool. Both chambers are RIE 6” only (load-lock)OEMモデルの説明
Etchers & Ashersドキュメント
ドキュメントなし