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説明
Type: Plasma Dry etcher Version: 200 mm構成
Gases used:Ar, BCl3, Cl2, HBr, He, N2, O2, SF6OEMモデルの説明
The Omega Etch Systems from SPTS offers advanced etch technologies for a wide range of applications within Advanced Packaging, MEMS, Photonics, Power Devices, and RF-IC.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
53024
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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KLA / SPTS
OMEGA 201
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Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
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不明
製品ID：
53024
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2010
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Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Type: Plasma Dry etcher Version: 200 mm構成
Gases used:Ar, BCl3, Cl2, HBr, He, N2, O2, SF6OEMモデルの説明
The Omega Etch Systems from SPTS offers advanced etch technologies for a wide range of applications within Advanced Packaging, MEMS, Photonics, Power Devices, and RF-IC.ドキュメント
ドキュメントなし