説明
Details Attached Plasma Etcher Rapier Chm Excluding Synapse Chm FxP Transport Module Excluded: - SMC Thermochiller TM & VCE dry Pump (QTY 2)構成
Software Version - 19.8.1.3 Process - Si/Ox/Nit Etch Chamber System - Rapier Process Module Handler System - VCE (QTY 2) RF & Power Rack (QTY 2)OEMモデルの説明
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.ドキュメント
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 2日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154393
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2011
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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KLA / SPTS
OMEGA fxP
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 2日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154393
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2011
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available