説明
説明なし構成
ICP chamber for Omega fxP Etch system w/o MFOEMモデルの説明
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 11日前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
146867
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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KLA / SPTS
OMEGA fxP
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 11日前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
146867
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
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Available
Transaction Insured by Moov
Available
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Available
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ICP chamber for Omega fxP Etch system w/o MFOEMモデルの説明
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.ドキュメント
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