説明
Reactive Ion Etcher. Good Condition. -Deinstalled, warehoused. -In working condition -Manual loading -includes PC control system -includes manuals -includes Leybold mechanical pump -includes Leybold turbo pump -Leybold turbo pump controller type: Turbotronix NT 151 / 361構成
-Cathode diameter: 30 cm -Cathode area: 706.5 cm2 -RF forward power range: 10 to 600 watts -Chamber max pressure: 500 mtorr -Substrate sizes: 2 to 8 inch and small fragments -Number of gas lines available: 8OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
STS
320 PC
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
28956
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1995
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Reactive Ion Etcher. Good Condition. -Deinstalled, warehoused. -In working condition -Manual loading -includes PC control system -includes manuals -includes Leybold mechanical pump -includes Leybold turbo pump -Leybold turbo pump controller type: Turbotronix NT 151 / 361構成
-Cathode diameter: 30 cm -Cathode area: 706.5 cm2 -RF forward power range: 10 to 600 watts -Chamber max pressure: 500 mtorr -Substrate sizes: 2 to 8 inch and small fragments -Number of gas lines available: 8OEMモデルの説明
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