説明
It’s a legendary tool for Deep Si Etch from STS/SPTS Best tool for Deep Si etch in MEMS , Advance Package , TSV in compare with Rapier/SPTS , LAM & AMEC by far. SOI kit option included.構成
Wafer Size: 200mm Chamber Quantity: 2 Chambers Volts / Hz/Ph: 380 Volts/60Hz ,160 Amps/phaseOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
STS
CPX Pegasus
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID:
109365
ウェーハサイズ:
8"/200mm
ヴィンテージ:
2006
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
STS
CPX Pegasus
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID:
109365
ウェーハサイズ:
8"/200mm
ヴィンテージ:
2006
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Available
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