
説明
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証: 11日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
149257
ウェーハサイズ:
6"/150mm
ヴィンテージ:
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
STS
VPX PEGASUS
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証: 11日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
149257
ウェーハサイズ:
6"/150mm
ヴィンテージ:
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump構成
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