説明
説明なし構成
1 EFEM 3 PMS 2 AC Rack 3 Generator Rack, etcOEMモデルの説明
Telius (300mm) etch systems. Successor to the Unity, generally 4 chamber, but could support purge modules and other HW.ドキュメント
ドキュメントなし
TEL / TOKYO ELECTRON
TELIUS
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
52917
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TELIUS
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Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
52917
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
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Telius (300mm) etch systems. Successor to the Unity, generally 4 chamber, but could support purge modules and other HW.ドキュメント
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