説明
Dry Ecther構成
Transfer Module Cassette Stage Number 2 Transfer Chamber 1 Transfer Robot 1 Robot Type YASKAWA VS2C Process Chamber Module Process Chamber Number 2 Chamber Type IEM Gas O2, CHF3, Ar, CF4, C4F8, N2OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
TEL / TOKYO ELECTRON
UNITY IIE-855II
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
107209
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1996
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
107209
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
1996
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