説明
power 2 pump 4構成
Process Gas:CDA/P-N2/CF4/CHF3/Ar/He Process Chemical:OEMモデルの説明
Plasma Etching Equipmentドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
130292
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
1996
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TEL / TOKYO ELECTRON
UNITY IIE 655 PP
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
130292
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
1996
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
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Available
説明
power 2 pump 4構成
Process Gas:CDA/P-N2/CF4/CHF3/Ar/He Process Chemical:OEMモデルの説明
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