説明
TRION PHANTOM RIE (Upgradable to MINILOCK RIE) Installed and running Chiller included構成
Can hold up to an 8" wafer Gasses: SF6, CF4, O2 Windows 3.1 Automatic temp control unit Vacuum Load Lock Down stream upgradeOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 12日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
141653
ウェーハサイズ：
6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
1994
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
TRION
PHANTOM II
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 12日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
141653
ウェーハサイズ：
6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
1994
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
TRION PHANTOM RIE (Upgradable to MINILOCK RIE) Installed and running Chiller included構成
Can hold up to an 8" wafer Gasses: SF6, CF4, O2 Windows 3.1 Automatic temp control unit Vacuum Load Lock Down stream upgradeOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし