説明
Dry etch system構成
Known issues: Not included: Pumps; Chillers; Abatement Centura Mainframe (Qty 2) SiCoNi Chamber Brooks Back End Robot 5.X Yaskawa FI Robot (Qty 2) Batch Loadlocks (Qty 2) FOUP Factory Interface FI Robot Controller (Qty 2) Siconi Lid TC Buffer Throttle Valve Slit Actuator Blank-off Plate (Qty 2) Cooldown Station Assy Loadlock Cover (Qty 2) Buffer CDN Cards Siconi Isolator FI Aligner Siconi RF Ballast Siconi Controller Tower Buffer Power Supply (Qty 2) Siconi Lid Heater Driver Siconi Electrode (Qty 2) Siconi Pneumatic Block Siconi Crossover Gas Line Siconi Chamber Blank-off Plate Process: SiCoNi CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154777
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2009
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA ACP
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154777
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2009
Logistics Support
Available
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Available
Refurbishment Services
Available
説明
Dry etch system構成
Known issues: Not included: Pumps; Chillers; Abatement Centura Mainframe (Qty 2) SiCoNi Chamber Brooks Back End Robot 5.X Yaskawa FI Robot (Qty 2) Batch Loadlocks (Qty 2) FOUP Factory Interface FI Robot Controller (Qty 2) Siconi Lid TC Buffer Throttle Valve Slit Actuator Blank-off Plate (Qty 2) Cooldown Station Assy Loadlock Cover (Qty 2) Buffer CDN Cards Siconi Isolator FI Aligner Siconi RF Ballast Siconi Controller Tower Buffer Power Supply (Qty 2) Siconi Lid Heater Driver Siconi Electrode (Qty 2) Siconi Pneumatic Block Siconi Crossover Gas Line Siconi Chamber Blank-off Plate Process: SiCoNi CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
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