説明
300MM ASME 3000 EPI HEX構成
-Software Version: Standard -CIM: SECS GEM -Process: EPI -Main System Main Tool -Handler System Standard (1) -Factory Interface FOUP (4) -Others Upgrades 2006-2011 Mass Flow Verification Upgrades on CMD1 ASM EPI PRE ALIGNER U/G CMD1 ASM CONTROL UPGRADE ON EPI TOOL ( CMD1) ASM EPI Backpressue U/G (4)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
ASM
EPSILON E3000
検証済み
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
112988
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASM
EPSILON E3000
カテゴリ
Epitaxial deposition (EPI)
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
112988
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
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説明
300MM ASME 3000 EPI HEX構成
-Software Version: Standard -CIM: SECS GEM -Process: EPI -Main System Main Tool -Handler System Standard (1) -Factory Interface FOUP (4) -Others Upgrades 2006-2011 Mass Flow Verification Upgrades on CMD1 ASM EPI PRE ALIGNER U/G CMD1 ASM CONTROL UPGRADE ON EPI TOOL ( CMD1) ASM EPI Backpressue U/G (4)OEMモデルの説明
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