説明
Remaining parts for tool1: Transfer robot Missing parts for tool 1: 1.Chamber process kit 2.Chiller/pump/scrubber 3.Micro computer 4.EC&AC magnetron generator 5.EC turbo pump & controller 6.LL/UL cassette motor 7.AC gate cylinder Remaining parts for tool 2: 1.Transfer robot 2.LL system 3.EC chamber system 4.AC chamber system Missing parts for tool 2: 1.Chamber process kit 2.Chiller/pump/scrubber 3.Micro computer構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
HITACHI
M 308AE
カテゴリ
Etch/Asher
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
133660
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Remaining parts for tool1: Transfer robot Missing parts for tool 1: 1.Chamber process kit 2.Chiller/pump/scrubber 3.Micro computer 4.EC&AC magnetron generator 5.EC turbo pump & controller 6.LL/UL cassette motor 7.AC gate cylinder Remaining parts for tool 2: 1.Transfer robot 2.LL system 3.EC chamber system 4.AC chamber system Missing parts for tool 2: 1.Chamber process kit 2.Chiller/pump/scrubber 3.Micro computer構成
構成なしOEMモデルの説明
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