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Tool Status: Powered up. No Configuration available. Audit to verify. Lam Kiyo EX (chamber only)OEMモデルの説明
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LAM RESEARCH CORPORATION
2300
検証済み
カテゴリ
Etch/Asher
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状態：
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稼働ステータス:
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製品ID：
15058
ウェーハサイズ：
12"/300mm
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不明
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検証済み
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Etch/Asher
最終検証： 60日以上前
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不明
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