説明

Wafer thinning

構成

構成なし

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Delta fxP - a cluster system supporting up to 6 PECVD chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.

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DELTA fxP

検証済み

カテゴリ

Etch/Asher

最終検証： 60日以上前

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状態：

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稼働ステータス:

不明

製品ID：

82021

ウェーハサイズ：

不明

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