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説明
Sitting idle, less chlorine gasses, and can fired up if need be.構成
Gas cabinents, BOSCH pumps, scrubber included EDWARDS ATLAS MK3B, Manual load station, elevated staging, RF generator 30Kilowat Kyosan, 480 volt power Rough throughput 1800 wafers assuming 156mmx156mm uptime >94% Setup for SF6, CL, O2 gases Equipment tray footprint 3500mm x 8750mm x 3620mmOEMモデルの説明
RIE(Reactive lon Etch) & Manual Loaderドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Etch/Asher
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
63639
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2014
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
WONIK IPS
Helitex AAS0
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Etch/Asher
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
63639
ウェーハサイズ：
不明
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2014
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Sitting idle, less chlorine gasses, and can fired up if need be.構成
Gas cabinents, BOSCH pumps, scrubber included EDWARDS ATLAS MK3B, Manual load station, elevated staging, RF generator 30Kilowat Kyosan, 480 volt power Rough throughput 1800 wafers assuming 156mmx156mm uptime >94% Setup for SF6, CL, O2 gases Equipment tray footprint 3500mm x 8750mm x 3620mmOEMモデルの説明
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