説明
CVD system構成
Known issues: Not included: (Qty 2) Eurotherm Temp; TM Robot Blade; (Qty 3) Chuck Heater EFEM with Loadlocks and Buffer Ulvac Covot-6 VAC Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface Process: SiON Software Version: GF.2.4.2_100 CIM: SECS (Qty 3) ChambersOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
同様のリスト
すべて表示
WONIK IPS
MAHA MP
カテゴリ
Gas Cabinets
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154812
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2019
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
CVD system構成
Known issues: Not included: (Qty 2) Eurotherm Temp; TM Robot Blade; (Qty 3) Chuck Heater EFEM with Loadlocks and Buffer Ulvac Covot-6 VAC Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface Process: SiON Software Version: GF.2.4.2_100 CIM: SECS (Qty 3) ChambersOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし