説明
High Energy Implanter 1.2 MeV構成
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEMモデルの説明
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AXCELIS
NV GSD/HE
カテゴリ
High Current
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Down
製品ID：
148407
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
High Energy Implanter 1.2 MeV構成
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEMモデルの説明
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