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VIISta 810XP

カテゴリ
Medium Current
概要(Overview)

The VIISta 810XP is the industry standard in productive ion implant, providing the highest overall throughput, precise doping, and unmatched contamination control. It is the most productive tool in the fab, with a 500wph medium current ion implanter and an energy range of 2keV – 810keV.

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