説明
FIB構成
FIB ●Simple Config ①Stage Type：Side Entry Type A, Eucentric Stage Type E ②Attached holder：μ Sampling Holder, Shared Revolver Holder, Shared Revolver Mesh Holder ●Simple performance： ①Accelerating voltage：10～40kV ②Max beam current：30nA at 40kV ③MAX beam current density：25A/c㎡ at 40kV ④Resolution：6nm at 40kV ⑤Vacuum degree: Ion source room/6×10-6、Sample chamber/6×10-4 ●Audit Result Audit item is Resolution, Magnification, Vacuum degree, Each operation.OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
HITACHI
FB-2100
カテゴリ
Inspection Equipment
最終検証： 11日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled
製品ID：
82626
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available