
説明
implanter構成
Equipment size: * Main body approx. 8300 x 3300 (plus 650 mm when the door opens) * Exterior devices approx. 2950 x 850 (plus 1400 mm when the door opens) Configuration: * ESC temperature confirmation (A series high temperature and B series normal temperature) A: 500℃ B: 24℃ * Energy range: Monovalent → 350keV, Divalent → 700keV Compatible with double/triple chargeOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Ion Implantation
最終検証: 10日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
139224
ウェーハサイズ:
4"/100mm
ヴィンテージ:
2010
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ULVAC
IH-860DSIC
カテゴリ
Ion Implantation
最終検証: 10日前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
139224
ウェーハサイズ:
4"/100mm
ヴィンテージ:
2010
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
implanter構成
Equipment size: * Main body approx. 8300 x 3300 (plus 650 mm when the door opens) * Exterior devices approx. 2950 x 850 (plus 1400 mm when the door opens) Configuration: * ESC temperature confirmation (A series high temperature and B series normal temperature) A: 500℃ B: 24℃ * Energy range: Monovalent → 350keV, Divalent → 700keV Compatible with double/triple chargeOEMモデルの説明
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