説明
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Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEMモデルの説明
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ADVANTEST
F5112
カテゴリ
Lithography
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
134374
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
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Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEMモデルの説明
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