説明
Details Attached構成
• Diode-pumped solid state laser with 355 nm wavelength - Exposure of standard i-line resists • Automatic handling of 150 mm wafers and 6“ masks • Exposure of substrates with almost arbitrary form factor with manual handling (max. thickness 9 mm) • Maximum exposure area 400 mm x 400 mm • Front to backside alignment possible • 3 exchangeable write heads with different resolution and throughput • Exposure of high topography substrates with special write head with increased working distance • Greyscale lithographyOEMモデルの説明
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カテゴリ
Lithography
最終検証： 20日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
142995
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
HEIDELBERG INSTRUMENTS
VPG 400
カテゴリ
Lithography
最終検証： 20日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
142995
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available