説明
High voltage: 50KV Mask type: 6025 standard mask Resolution: 200nm Loding type: SMIF load構成
EBM3500 E-beam lithography includes: EBM 3500 covers I/O Arm RMS EHV cabinet ALC cabinet ACP cabinet VAL cabinet EOC cabinet DPW cabinet MAC cabinet PDF cabinet PRX cabinet PCU1 TRU CHL EWS Dry pump*3+ Orion*1 Exhaust cover*6 SUB, AMP box*8 Cables & ETCOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
NUFLARE
EBM-3500
カテゴリ
Lithography
最終検証： 19日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled
製品ID：
142587
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
High voltage: 50KV Mask type: 6025 standard mask Resolution: 200nm Loding type: SMIF load構成
EBM3500 E-beam lithography includes: EBM 3500 covers I/O Arm RMS EHV cabinet ALC cabinet ACP cabinet VAL cabinet EOC cabinet DPW cabinet MAC cabinet PDF cabinet PRX cabinet PCU1 TRU CHL EWS Dry pump*3+ Orion*1 Exhaust cover*6 SUB, AMP box*8 Cables & ETCOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし