説明
-Has backside optics -No IR alignment構成
- Topside (TSA) Alignment - Backside (BSA) Alignment - Suss DVM6 Microscope - UV400 splitfield Optics (for 365nm and 405nm exposure) - CIC 500 Power Supply - Capable of Hard, Soft, Vacuum Contact with proper tooling - 1500W Lamphouse - Vibration Isolation Table (for Suss MA6) - 150mm Chuck included - 7x7 Maskholder included - System Power: 230V, 50/60 HzOEMモデルの説明
The KARL SUSS MA6/BA6 is a Mask Aligners system. The MA6/BA6 can be used with 6"/150mm wafer sizes.ドキュメント
ドキュメントなし
SUSS MicroTec / KARL SUSS
MA6/BA6
検証済み
カテゴリ
Mask Aligner
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
55492
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2001
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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MA6/BA6
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最終検証： 30日以上前
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稼働ステータス:
不明
製品ID：
55492
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2001
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Available
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-Has backside optics -No IR alignment構成
- Topside (TSA) Alignment - Backside (BSA) Alignment - Suss DVM6 Microscope - UV400 splitfield Optics (for 365nm and 405nm exposure) - CIC 500 Power Supply - Capable of Hard, Soft, Vacuum Contact with proper tooling - 1500W Lamphouse - Vibration Isolation Table (for Suss MA6) - 150mm Chuck included - 7x7 Maskholder included - System Power: 230V, 50/60 HzOEMモデルの説明
The KARL SUSS MA6/BA6 is a Mask Aligners system. The MA6/BA6 can be used with 6"/150mm wafer sizes.ドキュメント
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