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NanoOCD 9020

カテゴリ
Metrology
概要(Overview)

The NanoOCD 9020, a 200 millimeter-based system that incorporates our newly developed edge-gripping vacuum wafer stage and OCD technology for the measurement of critical dimensions on semiconductor wafers. The system is designed for integration into the vacuum chamber of semiconductor wafer etch processing equipment.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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