説明
Metrology / inspection system構成
KT Tencor Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface SS10k Subsystem RPRC SS10k Subsystem RP SS10k Subsystem LDSR Process: Optical Critical Dimensions Software Version: rev 6.20.31.11001 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Metrology
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154820
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA
SpectraShape 9010
カテゴリ
Metrology
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154820
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2013
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Metrology / inspection system構成
KT Tencor Robot Handler (Qty 3) FOUP Factory Interface SS10k Subsystem RPRC SS10k Subsystem RP SS10k Subsystem LDSR Process: Optical Critical Dimensions Software Version: rev 6.20.31.11001 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
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