説明
2 Loadport with FOUP Capability (Brooks) Loadports Carrier Reader: RFID Type Robot: Brooks Light Source: laser 633 nm HeNe and solid-state 780 nm , and 905 nm UV lamp: 190nm to 400nm Function: Spectroscopic reflectoment covering 190 nm to 905 nm Spot size : 50 μm DUV and 2.5 μm/15 μm /50 μm (high, medium and low magnification) visible /IR Enhanced modulated scanning monochrometer for DUV range OMA detector for the visible/IR range Details Attached構成
Film ThicknessOEMモデルの説明
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カテゴリ
Metrology
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
148889
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
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Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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ONTO / RUDOLPH / AUGUST
S300
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