説明
Automatic Wafer Inspection System Cassette to Cassette Handling of 4" to 6" Wafers Trinocular Head with Auto Focus with Manual Focus Override 10X Widefield Focusing Eyepieces 10X, 20X and 40X BD Plan Objective Lenses 6" X 6" XY Programmable Wafer Stage Motion with Joystick Manual Override EPI Illuminator with Variable Intensity and 50 Watt Halogen Lamp Wafer Transfer Unit with Pre-aligner & Integrated Robotic Loading Arm 1ea Send Cassette Elevator 2ea Receive Cassette Elevators 2ea System Controlled Inker Assemblies 2ea Operator Control Boxes with Keypads CPU with IEEE-488 & RS-232 Interface構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
NIKON
OPTIPHOT 2A
検証済み
カテゴリ
Microscope
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
13178
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Available
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OPTIPHOT 2A
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最終検証： 60日以上前
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Automatic Wafer Inspection System Cassette to Cassette Handling of 4" to 6" Wafers Trinocular Head with Auto Focus with Manual Focus Override 10X Widefield Focusing Eyepieces 10X, 20X and 40X BD Plan Objective Lenses 6" X 6" XY Programmable Wafer Stage Motion with Joystick Manual Override EPI Illuminator with Variable Intensity and 50 Watt Halogen Lamp Wafer Transfer Unit with Pre-aligner & Integrated Robotic Loading Arm 1ea Send Cassette Elevator 2ea Receive Cassette Elevators 2ea System Controlled Inker Assemblies 2ea Operator Control Boxes with Keypads CPU with IEEE-488 & RS-232 Interface構成
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