
説明
Equipped with Gas delivery system, pumping system and reaction chamber. Upgraded hardware and software components in 2011 - high end computer with PLC構成
One 1" wafer processed per run. 10 to 760 torr. Load lock Gases: TMGa TMA TMIn NH3 Silane HydrogenOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
MOCVD
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
32495
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
1996
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CVD EQUIPMENT CORPORATION
MOCVD REACTOR
カテゴリ
MOCVD
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
32495
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
1996
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Equipped with Gas delivery system, pumping system and reaction chamber. Upgraded hardware and software components in 2011 - high end computer with PLC構成
One 1" wafer processed per run. 10 to 760 torr. Load lock Gases: TMGa TMA TMIn NH3 Silane HydrogenOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし