説明
5 AMAT ESC chucks refurbished in 2018 (in storage unused since refurb )構成
Electrostatic chucks (ESC) for Endura, 12" Process: 10 nm Type: Bipolar Flatness: 0.0009" Operating voltage: 500 VDC Leakage voltage: 800 VDC Residual pressure: <5 Torr Maximum pressure: >12 Torr Backside pressure / Helium leak rate 4 Torr / 0.3 SCCM 6 Torr / 0.4 SCCM 8 Torr / 0.5 SCCM.OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
APPLIED MATERIALS (AMAT)
0010-16858
検証済み
カテゴリ
Parts
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID:
35414
ウェーハサイズ:
12"/300mm
ヴィンテージ:
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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5 AMAT ESC chucks refurbished in 2018 (in storage unused since refurb )構成
Electrostatic chucks (ESC) for Endura, 12" Process: 10 nm Type: Bipolar Flatness: 0.0009" Operating voltage: 500 VDC Leakage voltage: 800 VDC Residual pressure: <5 Torr Maximum pressure: >12 Torr Backside pressure / Helium leak rate 4 Torr / 0.3 SCCM 6 Torr / 0.4 SCCM 8 Torr / 0.5 SCCM.OEMモデルの説明
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