説明
Applied Materials 5000 ASP Process Chamber, 100mm chuck, lift hoop (fingers missing), wave guide w/ 3-stub manual tuner, applicator tube, 1500W magnetron p/n 0190-09769, lamp module p/n 0010-09911, chamber interface board, dual baratrons manifold & display board (manometers missing), plasma applicator, lift assembly w/ TC amplifier box & over-temp interlock box, throttle valve p/n 0010-09174, isolation valve (KF50), water flow switch, chamber harness p/n 0140-09465, plasma tube cooling solenoid, pre-fire power supply box.構成
構成なしOEMモデルの説明
PROCESS CHAMBER BODYドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Parts
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
113342
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
APPLIED MATERIALS (AMAT)
5000 ASP
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最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
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Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
113342
ウェーハサイズ：
不明
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Applied Materials 5000 ASP Process Chamber, 100mm chuck, lift hoop (fingers missing), wave guide w/ 3-stub manual tuner, applicator tube, 1500W magnetron p/n 0190-09769, lamp module p/n 0010-09911, chamber interface board, dual baratrons manifold & display board (manometers missing), plasma applicator, lift assembly w/ TC amplifier box & over-temp interlock box, throttle valve p/n 0010-09174, isolation valve (KF50), water flow switch, chamber harness p/n 0140-09465, plasma tube cooling solenoid, pre-fire power supply box.構成
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