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市場 > PECVD > PLASMATHERM > VERSALINE PECVD

VERSALINE PECVD

カテゴリ
PECVD
概要(Overview)

VERSALINE PECVD systems can deposit many different high-quality films, ensuring you get maximum, reliable high productivity at a low total cost of ownership. Process Silane-based films (a-Si, SiO2, SiNx, SiON, SiC, SiOF, a-SiC) TEOS films Stress control High and low deposition rates Tunable refractive index

現在の掲載品

1

サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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