説明
No missing parts PLC broken down PLC / SW problems Vacuum pump, turbo pump, no chillers構成
Gasses/Process: SiH4/Ar2%, CH4, NH3, N2, O2, Ar, CF4, N2OOEMモデルの説明
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Systemドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PECVD
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
128488
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2008
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
PLASMATHERM
Vision 310
カテゴリ
PECVD
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
128488
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2008
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
No missing parts PLC broken down PLC / SW problems Vacuum pump, turbo pump, no chillers構成
Gasses/Process: SiH4/Ar2%, CH4, NH3, N2, O2, Ar, CF4, N2OOEMモデルの説明
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Systemドキュメント
ドキュメントなし