HRP-320
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Profiler概要（Overview）
The HRP-320 extends the capability of the HRP-220 to 300mm wafers, with the industry’s first and only system capable of measuring the full diameter of a 300mm wafer in a single scan. This tool also offers a dual stage and the first fully automated measurements using a 200mm/300 mm handler system.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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