説明
Nimbus 314XP High Throughput Sputter Deposition system Details Attached構成
Software WinXP, Nimbus Version 3.18 Configured for 200mm / 8” (100mm / 4” and 150mm / 6” capable) 3 – Cassette platforms Load Lock / Cooling Station Pre-Etch Chamber Sputter chamber, five position source pentagon, two magnatrons installed (M4-DC & G-1, need to be verified). 3 – CTI 8 cryo pumps, 1 – etch chamber, 2 – sputter chamberOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
139826
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2006
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASM / TEL / NEXX
NIMBUS 314
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
139826
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2006
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available