説明
説明なし構成
構成なしOEMモデルの説明
System configuration: Load lock type tray transport method Substrate size: φ200mm maximum Cathode: φ4" cathode ×3 (Option: φ12.5" cathode ×1, φ4" cathode ×4) Operation method: Fully automated (pumping, transport, deposition)ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
125114
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CANON / ANELVA
EB1100
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
125114
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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構成なしOEMモデルの説明
System configuration: Load lock type tray transport method Substrate size: φ200mm maximum Cathode: φ4" cathode ×3 (Option: φ12.5" cathode ×1, φ4" cathode ×4) Operation method: Fully automated (pumping, transport, deposition)ドキュメント
ドキュメントなし