説明
Target size: φ4 inch, Number of targets: 3 Substrate size: 150 mm, Power supply for sputtering: RF/DC power supply, Substrate heating performance: Max . /min Target 0.25MPa3.0?/min Air pressure 0.5~0.8MPa Mass 1.2t Outer size W2440 D1100 H1600 ・ Controller box Outer size W590 D1010 H1850 Power supply box ② Outer size W560 D700 H1780 Cryocompressor CR420 Three-phase 200V 50/60Hz 2.4 /2.5? Rotary Pump Alcatel 2033 SD構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
CANON / ANELVA
L-430S-FHL
検証済み
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
70803
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
1999
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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L-430S-FHL
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Target size: φ4 inch, Number of targets: 3 Substrate size: 150 mm, Power supply for sputtering: RF/DC power supply, Substrate heating performance: Max . /min Target 0.25MPa3.0?/min Air pressure 0.5~0.8MPa Mass 1.2t Outer size W2440 D1100 H1600 ・ Controller box Outer size W590 D1010 H1850 Power supply box ② Outer size W560 D700 H1780 Cryocompressor CR420 Three-phase 200V 50/60Hz 2.4 /2.5? Rotary Pump Alcatel 2033 SD構成
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