説明
6-inch wide erosion cathode 3 units Side sputtering method Maximum temperature 300°C Substrate heating mechanism, substrate cleaning mechanism, substrate cooling mechanism (gas cooling) installed Substrate holder φ420 3φ200V 50/60Hz構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
70943
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CANON / ANELVA
SPL-500
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
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状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
70943
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Available
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6-inch wide erosion cathode 3 units Side sputtering method Maximum temperature 300°C Substrate heating mechanism, substrate cleaning mechanism, substrate cooling mechanism (gas cooling) installed Substrate holder φ420 3φ200V 50/60Hz構成
構成なしOEMモデルの説明
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