説明
Details Attached Metals/Chemicals used: LiCO, LiPON, and Li ELECTROLYTE DEPOSITION SYSTEM, DENTON VACUUM, CO. #DT000, MDL. RELIANT, MFG. 3/07, LIST SHOWS RELIANT RF SPUTTER SYSTEM WITH LIPON DEPOSITION TOOL, 2' X 2' X 3' HIGH STEEL CHAMBER, (2) ANGSTROM SCIENCES RF CATHODES WITH POWER SUPPLIES/CONTROLLERS, (2) RF TUNERS, CTI CRYOGENICS CRYO-TORR 8 CRYOGENIC PUMP WITH MONITOR, KYKY TURBO PUMP WITH MDL. 1200H CONTROLLER, (2) ADVANCED ENERGY DRESSLER CESAR RF POWER GENERATORS, RELATED PRESSURE MONITORS, ISOLATION VALVES, B&W MDL. TRP-90 VACUUM PUMP, STAND ALONE POWER SUPPLY/CONTROL, COMPUTER CONTROL SYSTEM, RELATED HARDWARE, SOFTWARE, (2) VAT GATE VALVES, CTI CRYOGENICS 8200 COMPRESSOR, ALL RELATED EQUIPMENT, COMPONENTS構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
131867
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
DENTON VACUUM
EXPLORER
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
131867
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available