説明
PVD system構成
(Qty 3) PVD chambers, positions 3/4/5 Degas chamber, position 1 PM5 hot chuck and pyrometer Brooks control system upgrade (2025) with new aligner Brooks Magnatran MAG 7.1 dual-pan robot, up to 860mm extension Brooks control system with CDM (Qty 2) Load-lock elevators Adapter flange for active wafer centering Transport coolerOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 3日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
155365
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
EVATEC / UNAXIS / OERLIKON / BALZERS
CLUSTERLINE 200 II CW
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 3日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
155365
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
PVD system構成
(Qty 3) PVD chambers, positions 3/4/5 Degas chamber, position 1 PM5 hot chuck and pyrometer Brooks control system upgrade (2025) with new aligner Brooks Magnatran MAG 7.1 dual-pan robot, up to 860mm extension Brooks control system with CDM (Qty 2) Load-lock elevators Adapter flange for active wafer centering Transport coolerOEMモデルの説明
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