説明
Sputtering System構成
CTI CT-8 cryo pump and water cooled compressor • Leybold Mech Pump • HVA hivac valve • MKS variable throttle valve • 4 Torus-magnetron target assemblies, • 2 gas system with 2 Vac Gen UltraFlo MFCs • Capacitance Manometer, MKS with 270 controller • AC power box with breakers • Manual control panel • G.P.-307 I.G. controller with dual I.G. readouts • Water flow panel with 4 Proteus flow meters • 1 A.E. MDX-1, 1Kw dc power supplies • 1 A.E. 600w RF generator • 1 A.E. RF matching unit • Superior stepper motor control for table motion • 4 6” pallet positions • Backside heater assembly with TC • Stepper motor controlledOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 10日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
156149
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KURT J LESKER
CMS-18
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 10日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
156149
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Sputtering System構成
CTI CT-8 cryo pump and water cooled compressor • Leybold Mech Pump • HVA hivac valve • MKS variable throttle valve • 4 Torus-magnetron target assemblies, • 2 gas system with 2 Vac Gen UltraFlo MFCs • Capacitance Manometer, MKS with 270 controller • AC power box with breakers • Manual control panel • G.P.-307 I.G. controller with dual I.G. readouts • Water flow panel with 4 Proteus flow meters • 1 A.E. MDX-1, 1Kw dc power supplies • 1 A.E. 600w RF generator • 1 A.E. RF matching unit • Superior stepper motor control for table motion • 4 6” pallet positions • Backside heater assembly with TC • Stepper motor controlledOEMモデルの説明
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