説明
Tool Configuration: - MAG7 Brooks Robots - MC3 Novellus Module controller - Pfeiffer Turbo and turbo controller - 3 CTI/Hilex/Brooks Cryo pump - Brooks FOUP cassette wafer loader - VAT throttle valve and controllers - AE PDX 5000 RF Generator - AE RFG 5500 RF Generator - MKS RF Generator - DC power supply - Right Degas Chamber - PVD chamber - Preclean Chamber - Left Degas Chamber - Transfer Module with dual blade - And many more (details attached)構成
PVDOEMモデルの説明
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).ドキュメント
LAM RESEARCH / NOVELLUS
INOVA xT
検証済み
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
64064
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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INOVA xT
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PVD / Sputtering
最終検証： 60日以上前
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状態：
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不明
製品ID：
64064
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