説明
• 3-station process module (P1. P2. P3) • 5 KW pulsed DC power supply • P3 dedicated to ITO or other Transparent Conductive Films <TCF) • P3 has 02 MFC & 13.56 MHz power supply/match to maintain ITO stoichiometry • L/L: has a roughing pump and water pump • Process chamber has a roughing pump. ·red to a turbo/water pump & a cryo pump SIV 500 - Manual load. (1) 500mm x 500mm carrier - Uses Ulvac 12· cryo & 12' water pump/turbo構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
ULVAC
SIV-500
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
128837
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2015
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
• 3-station process module (P1. P2. P3) • 5 KW pulsed DC power supply • P3 dedicated to ITO or other Transparent Conductive Films <TCF) • P3 has 02 MFC & 13.56 MHz power supply/match to maintain ITO stoichiometry • L/L: has a roughing pump and water pump • Process chamber has a roughing pump. ·red to a turbo/water pump & a cryo pump SIV 500 - Manual load. (1) 500mm x 500mm carrier - Uses Ulvac 12· cryo & 12' water pump/turbo構成
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