説明
Implant measurement system構成
構成なしOEMモデルの説明
The Therma-Probe model TP420 is a high stability automated ion implant process control system that uses a laser-based, noncontact, nondestructive measurement technique for monitoring ion implantation and other processes. It can measure implants with doses from 1x10E11 to 1x10E15 ions/cm2 and energies from 5 keV to 3 MeV. The system is capable of handling SEMI standard 100 to 200 mm wafers.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Reticle / Mask Inspection
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153151
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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KLA / THERMA-WAVE
TP-420
カテゴリ
Reticle / Mask Inspection
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
153151
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Available
Transaction Insured by Moov
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Implant measurement system構成
構成なしOEMモデルの説明
The Therma-Probe model TP420 is a high stability automated ion implant process control system that uses a laser-based, noncontact, nondestructive measurement technique for monitoring ion implantation and other processes. It can measure implants with doses from 1x10E11 to 1x10E15 ions/cm2 and energies from 5 keV to 3 MeV. The system is capable of handling SEMI standard 100 to 200 mm wafers.ドキュメント
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